一种集成磁结构的制作方法技术资料下载

技术编号:17469229

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本发明涉及磁传感器领域。本发明更具体地涉及一种采用集成磁集中器(IMC)的磁传感器。背景技术在不同的技术领域,例如电子装置及集成装置、传感器、指南针,工业应用或汽车应用(例如齿轮齿传感器、转向角或传输位置传感器等)等领域,磁场检测及定向性是具有优势的。磁传感器应高度集成,紧凑小巧,物美价廉并具有高灵敏度。传统上,采用霍尔传感器,但其磁场灵敏度往往还不够满足于速度,分辨率及灵敏度日益增长的要求。软磁材料可以用于磁通集中器。通量集中允许重新定向场线并将场线集中在预定区域,以便可以放置磁感测元件。即使...
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