一种太赫兹片上集成过渡结构的制作方法技术资料下载

技术编号:17470394

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本发明属于太赫兹器件领域,特别涉及一种基于波导-微带E面探针结构的太赫兹片上集成过渡结构。背景技术一般将波长为3mm~30um的电磁波称为太赫兹波,它介于毫米波和红外光之间,处于从电子学向光子学的过渡区。太赫兹频段在无线电物理领域称为亚毫米波,在光学领域则习惯称之为远红外光,THz波具有独特的瞬态性、宽带性、相干性和低能等特性,这些特性使其在安检、通信、雷达、射电天文中有广泛应用。由于太赫兹波频率较高,尺寸较小,传输损耗较大,减低太赫兹波的传输损耗是及为重要的。而太赫兹芯片为平面传输结构,太赫兹...
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