技术编号：17472224
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子仪器领域，尤其涉及一种主动隔振的控制方法及装置。背景技术振动存在于绝大多数的机电系统中，如果不加以合理的隔离，会造成严重的后果。例如在集成电路制造中，精密机械装置和测量仪器仪表对振动非常敏感。振动会缩短机械装置的寿命，甚至对整个系统造成严重的损坏。因此为了满足精密加工、测量等场合对振动环境的严格特殊的要求，高效的隔振控制方法显得尤为重要。主动隔振控制方法作为较常用的一种隔振方法，通常是按照如下方式进行振动信号的抑制。具体的，首先采集振动环境中的振动信号，该采集到的振动信号为时域上的...
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