技术编号：17475643
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电领域，尤其是一种单光子雪崩二极管及制作方法、探测器阵列、图像传感器。背景技术图像传感器被广泛应用于各种电子设备中，如数码相机，手机，医疗成像设备，安检设备，测距相机等等。随着制造图像传感器的半导体技术不断进步，图像传感器正在进一步向低功耗，小型化，高度集成的方向发展。图像传感器通常由光电探测器阵列组成。单光子雪崩二极管(SPAD)是在图像传感器中可以使用的一种光电探测器。单光子雪崩二极管(SPAD)可用于多种工业界与学术界的应用，深度探测(包括激光雷达)，医疗感应，机器视觉，手势识...
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