技术编号：17477910
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，属于极紫外射线领域。背景技术随着科学技术的不断进步和发展，极紫外射线甚至X射线已经在诸多领域得到了广泛应用，比如光电子能谱、极紫外光刻等。过去极紫外射线只能通过同步辐射光源或者倍频晶体等设备产生。同步辐射光源可以满足诸多科研实验的要求，但是其设备巨大，机时紧张，且脉冲宽度较长，因此在实际应用中有很多局限性。另外采用倍频晶体的方式虽然能够克服脉冲宽度的问题，但是波长范围较窄，很难满足科研实验中宽谱的要求。随着飞秒激光器的出现和高次谐波研...
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