技术编号：17478692
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种纳米操作平台，特别是一种空间立体式三维大行程纳米操作平台。背景技术随着科学的发展和技术的进步，在宏观尺度下技术已经相对成熟的加工和操作，在微纳领域也在经历快速的发展，比如生物医疗领域的细胞和组织操作、半导体领域的三维图案加工与表征等。在这些应用领域内，具有纳米级精度的操作平台是其中的核心部件之一。目前，纳米平台多为用压电陶瓷、音圈电机、电热或电磁驱动器等能够提供纳米级输出精度的驱动器驱动，而压电陶瓷相比其他驱动器具有高精度、高输出力、快速响应、可在常温环境下使用等优点，所以成为纳米...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。