技术编号：17480061
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及单晶碳化硅绿色、高效抛光磨具的制备及抛光方法，尤其涉及的是一种单晶碳化硅绿色、高效抛光磨具及其抛光单晶碳化硅的方法。背景技术碳化硅单晶作为第三代半导体材料，具有高热导率以及优良的电学特性，是制造IGBT等大功率开关器件、超高亮度蓝光/白光LED和激光二极管的理想衬底材料，成为光电行业的关键基础材料之一。碳化硅晶片的加工表面质量决定了衬底上外延层的加工质量，进而影响半导体器件的质量、效率与寿命，因此，碳化硅单晶片要求表面超光滑、无损伤。然而碳化硅单晶的化学稳定性非常高，且莫氏硬度随晶向不...
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