技术编号：17487112
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开总地涉及麦克风，并且具体涉及MEMS麦克风。背景技术微机电系统（“MEMS”）麦克风用在各种领域中以检测声波。常规MEMS麦克风利用基于静电感测的换能方法。具体地，一种类型的MEMS麦克风使用形成电容器的一个板的柔性移动膜片。膜片相对于形成电容器的相反板的固定反电极移动。当声波与柔性膜片相互作用时，膜片和反电极之间的距离改变，从而修改跨电容器的电压/电荷。典型地，控制电路检测跨电容器的改变的电压/电荷，并将检测到的电压/电荷转换成表示检测到的声波的电信号。膜片类型的MEMS麦克风不适用于一...
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