技术编号:17503311
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及芯片生产技术领域,特别是一种晶圆烘箱自动门。背景技术单晶硅圆片由普通硅砂提炼,经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制得多晶硅,多晶硅再经熔融、单晶晶核提拉制成具有一定晶体学取向的单晶硅棒,单晶硅棒经过抛光、切片之后,就成为了晶圆。晶圆是当前半导体组件的基础半成品,在生产晶圆的过程中,时常需要将晶圆置入烘烤装置,通过烘箱的适当温度来将晶圆的光刻胶体等等,进行物理性或化学性的转变,例如热固化等等。普通厌氧性烘箱设有烘箱系统,可预设置烘烤时间,控制烘箱内升温和烘烤风扇的转动,烘烤结束时风扇停止...
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