技术编号:17517319
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空环境工件加工,如离子束修形加工等技术领域,尤其涉及一种真空密封传动的真空室离子束修形加工装置。背景技术目前,离子束修形加工设备常采用单真空室设计或双真空室设计。目前离子束修形加工装置所有的运动机构都位于真空室内,驱动电机也位于真空室中,工作于真空环境,因此驱动电机必须采用真空电机。真空电机较普通电机价格昂贵,而且驱动电机占用真空空间,增大了真空室尺寸,增大了真空容积,增加了真空抽气系统负载,提高了离子束修形加工装置的成本。实用新型内容本实用新型提供了一种真空密封传动的真空室离子...
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