技术编号:17549678
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及机械手臂,具体涉及半导体硅片插片清洗一体机机用的内置硅片承载器搬运机械手,属于机械臂的技术领域。背景技术目前,随着全自动高速插片机和清洗设备的不断升级,插片机中的硅片承载器(以下简称“花篮”)的搬运工作,通常是人工搬运硅片承载,严重影响了整个生产效率的提高,发明内容本实用新型的目的是提供一种解决插片机与清洗设备之间的花篮搬运问题,实现花篮在插片机与清洗设备之间的快速交换,并且中间无需人工搬运的全自动机械手装置。为了解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是提供了一种三轴机械手,包括X...
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