技术编号:17561070
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及可控石墨相氮化碳薄膜制备技术领域,尤其是指一种制备厚度可控氮化碳薄膜的合成装置。背景技术目前高质量的石墨相氮化碳薄膜主要采用热气相沉积法制备,但是这种方法所制备的薄膜厚度难以控制,限制了其在实验及工业大规模生产的应用。因为前驱体在加热条件下形成氮化碳的过程中会产生大量气体,反应容器内的压强难以控制,反应容器上的薄膜沉积基底会被顶开,所以反应物蒸汽不定量的逸出,造成薄膜变薄,所制备的石墨相氮化碳薄膜的厚度不可控。实用新型内容本实用新型的目的是提供一种制备厚度可控氮化碳薄膜的合成装置,...
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