技术编号:17567726
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的一个方式涉及一种剥离方法。本发明的另一个方式涉及一种剥离装置。注意,本发明的一个方式不局限于上述技术领域。本说明书等所公开的发明的一个方式涉及一种物体、方法或制造方法。另外,本发明的一个方式涉及一种工序(process)、机器(machine)、产品(manufacture)或组合物(composition of matter)。具体地,作为本说明书所公开的本发明的一个方式的技术领域的一个例子,可以包括半导体装置、显示装置、发光装置、照明装置、电子设备、其驱动方法或其制造方法。背景技术近...
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