技术编号:17578705
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请大体上涉及半导体装置。特别的是,本申请涉及具有微机电系统(MEMS)与集成电路(IC)的整合型单块(monolithic)装置。背景技术诸如滤波器的整合型微机电系统(micro-electromechanical system;MEMS)装置、及诸如互补式金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor;CMOS)装置的集成电路(integrated circuit;IC)装置具有诸如行动通讯应用等各种应用。此类应用如系统级封装(system...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。