技术编号:17583880
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对基板进行处理的技术。背景技术以往,在半导体基板(下面,简称为“基板”)的制造工序中,使用基板处理装置来对基板实施各种处理。例如,在日本特开2014-49606号公报(文献1)的基板处理装置中,在向基板供给蚀刻液等的药液来进行药液处理之后,供给纯水等冲洗液来进行冲洗处理。另外,在冲洗处理结束后,以异丙醇(IPA:Isopropyl alcohol)等置换液来置换基板上的冲洗液,并使基板以高速旋转来进行干燥处理。在这样的基板处理装置中,为了将已使用于药液处理的药液再利用,将药液从其他处理...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。