技术编号:17588257
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种旋转靶材,特别涉及一种铝旋转靶材,本发明还涉及该铝旋转靶材的制造方法。背景技术由于光学玻璃、触摸屏等行业的快速发展,对铝旋转靶材的需求量越来越大,另外对对铝旋转靶材的品质要求也越来越高。现有的铝靶在镀膜过程中利用率不高,造成旋转靶材的生产成本居高不下。发明内容有鉴于此,本发明的目的在于提出一种铝旋转靶材及其制造方法。该方法制造得到的铝旋转靶材品质好,靶材在镀膜过程中的利用率高,大幅度降低旋转靶材的生产成本。为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案予以实现:一种铝旋转靶材的制造方法...
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