技术编号：17591847
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超高真空下传样技术领域，特别涉及一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法。背景技术目前，超高真空下的样品托盘的结构多为直线型，最多可同时承载两个样品托。本申请发明人发现，现有的样品托盘主要具有以下几点缺陷：一、最多只能同时承载两个样品托，直接限制了研究的效率；二、样品的传递方式只能是单一样品托传递，不能做到整体输运；具体地，首先是样品托盘为直线型，很难做到与传递装置的脱附动作，即很难与传递装置自由的组装固定和脱卸，因此大多设计成与传递装置组合为一体，只有样品托可以自由的脱附；其次，由于...
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