技术编号：17601120
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求于2017年10月31日提交的韩国专利申请第10-2017-0144249号的权益，该申请如同在此完全阐述一样通过引用并入本文用于所有目的。技术领域本发明涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积方法以及通过超精细图案沉积方法制造的发光显示装置。背景技术随着信息技术的发展，作为用户与信息之间的连接媒介的显示装置的市场正在增长。因此，越来越多地使用诸如有机发光显示器、液晶显示器、电泳显示器和量子点显示器的各种类型的显示装置。在制造显示装置时，薄膜形式的结构由沉积设备形成。传统的图案沉...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。