技术编号:17601138
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种蒸镀装置及其校正方法。背景技术蒸镀工艺是一种广泛应用的薄膜沉积技术。现有的蒸镀设备包括蒸镀腔室、设置于蒸镀腔室内的承载装置以及与承载装置相对的蒸镀源。蒸镀源可承载蒸镀材料。进行蒸镀工艺时,会以加热的方式让蒸镀材料挥发或是升华并以蒸镀粒子的形式填充在蒸镀腔室中。同时,承载装置上装设有待蒸镀的待镀物时,填充于蒸镀腔室中的蒸镀粒子即可在待镀物表面累积而后形成蒸镀镀膜。发明内容本发明实施例的蒸镀装置可达到卷对卷高镀率连续蒸镀工艺中所要求的镀率的高准确度与高稳定度的需求。本发明实施例的蒸镀装...
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