技术编号:17627455
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS陀螺仪领域,具体而言,是一种具有嵌入式磁源的MEMS陀螺仪。背景技术陀螺仪也称角速度传感器,它和加速度传感器都属于惯性传感器,是一类重要的力学MEMS器件,广泛用于汽车工业、大地测量、生物工程、机器人控制、矿山开采、武器导弹等领域,因受到普遍的重视而快速发展起来。MEMS陀螺仪是基于科里奥利效应,科里奥利效应是指当一个质点相对于惯性系做直线运动时,相对于旋转体系,其轨迹是一条曲线,立足于旋转体系,我们认为有一个驱使质点运动轨迹形成曲线的力,这个力就是科里奥利力Fc,其中Fc=-...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。