技术编号:17637105
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种超声雾化装置,特别是一种具有引导雾化液滴定向沉积、提高雾化液滴喷射效率与成膜均匀性的多源驱动超声雾化装置。背景技术传统的超声雾化方法是利用超声波定向压强,使液体表面隆起,在隆起的液面周围发生空化作用,使液体雾化成小分子的雾滴。与其它雾化手段相比,超声雾化具有雾滴细小、大小分布均匀、高度圆整性、雾化量相对较大和液体输送压力低等优点,因此,超声雾化被广泛地应用在雾化栽培、农业加湿、药剂雾化治疗以及半导体刻蚀等方面。但是,传统的超声雾化方法其动力来源仅为超声装置,雾化液滴的喷射速度较慢,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。