技术编号：17638770
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种基于阳极氧化铝模板的宽谱减反膜及其制备方法。技术背景减反膜是一种应用范围很广的光学镀膜，广泛应用于各种光学器件、太阳能电池、平板显示器、热反射镜等领域，在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位。减反膜的研究依赖其制备工艺，制备出高效率、宽光谱的减反膜有利于其科学的研究和应用的发展。随着离子束技术、激光技术的应用，人们研究了多种减反膜的工艺。比如自上而下的刻蚀技术：EBL、FIB、RIE等，这些方法都有一定的局限性，高级的设备，复杂的工艺或者小面积的生产。另外...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。