技术编号:17639838
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于声表面波滤波器生产技术领域,具体涉及用于SAW谐振、反谐振频率测量的控温装置。背景技术SAW器件广泛应用在通信、遥测、导航和测量等行业中,而随着行业的快速发展,要求SAW器件不断向高灵敏、高频、低损耗、小型化方向发展。制作SAW器件基片压电材料的特性将直接影响SAW器件的各项性能,进而对SAW传感器的性能指标产生重要影响。在众多影响因素中,环境温度是影响SAW器件特性的重要参数之一。随着环境温度的变化,SAW器件的许多参数,如介电常数、弹性常数、压电常数、介质损耗、机械品质因数以及机电...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。