技术编号：17646697
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种新型的真空泵停止后再启动防卡死方法。背景技术目前的真空泵停泵处理流程如下：1、对丰盛镀膜设备关闭加热进行降温；2、打开预抽，将设备抽至真空状态；3、打开主抽，将设备内部压力抽至0mbar；4、打开恒压氮气，对ADXEN602H真空泵进行不间断氮气吹扫2小时；5、2小时后“stop”ADXEN602H真空泵，真空泵停止运行，关闭真空泵冷却水进水和回水，关闭真空泵稀释氮气，关闭真空泵电源，关闭真空泵尾排手阀；6、每隔2个小时4个人同步进行手动盘泵：①用一...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。