技术编号:17656553
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及适用于液晶显示器和有机EL显示器等显示装置的薄膜晶体管(TFT:thin-film transistor)的半导体层用氧化物(以下,称为“氧化物半导体薄膜”)及在该氧化物半导体薄膜的表面具有保护膜的层叠体的品质评价方法、以及氧化物半导体薄膜的品质管理方法。详细而言,涉及通过利用接触式方法、或非接触式方法测定由氧化物半导体薄膜的膜中缺陷、由该氧化物半导体薄膜与在其表面形成的保护膜的界面缺陷引起的不良来评价具有该氧化物半导体薄膜的层叠体的品质的技术、以及该氧化物半导体薄膜的品质管理方法。背...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。