技术编号：17657296
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密微型机械领域，是一种利用压电效应的微位移放大机构，具体涉及一种复合位移放大型压电致动器。背景技术近年来，随着微电子技术、微机械技术、宇航、生物工程等学科的快速发展，微位移技术已成为精密运动系统和精密制造工艺中的关键技术之一。对于上述系统中的传动机构而言，传统的传动机构主要由电机或液压装置来实现。然而电机或液压装置存在许多不足，如定位精度不高、机构复杂、体积大等，不能满足现代精密机械的需求。压电陶瓷以其体积小、位移分辨率高、响应速度快、输出力大、换能效率高等优点，得到了国内外广泛的研...
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