技术编号:17672978
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微操作技术领域,具体而言,涉及一种亚微米级精密柔性微动系统。背景技术随着高科技领域机械系统需求高精度化及微型化趋势迅速发展,精密以及超精密技术在微电子、数控加工、生物医学等高端技术领域方面得到了广泛的应用。宏微驱动技术由于解决了运动大行程和高精度的矛盾而成为实现精密以及超精密技术的重要手段,广泛应用于生物医学、精密电子、军事等技术领域。但是,现有技术中提供的微动系统存在精确性与有效性较低的问题。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种亚微米级精密柔性微动系统,基于柔性铰链传动及导向...
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