技术编号：17697021
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及射频技术和MENS技术领域，具体涉及FBAR的设计制造和FBAR滤波器的制造方法。背景技术为满足更多通信功能和更好的通信体验，现代通信技术需要满足更高的效率和集成化的要求。由FBAR级联构造的滤波器，具有高Q值，低插损，矩形系数好，方向选择性好，具有很好的零深，带外抑制好等等性能上的优势，而且，体积小，与COMS工艺兼容，可以做集成。另外的，工作频率可以做到高频，因此，由FBAR级联构造的滤波器，能够很好的满足现代通信技术的这些要求。FBAR(film bulk acoustic re...
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