技术编号：17730773
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学测量领域，具体涉及一种激光干涉测量系统误差的标定方法。背景技术激光干涉测量具有：精度高、效率高、信息丰富、保护被测面等诸多优点，是精密表面测量的一个发展方向。由于激光干涉测量系统中各个光学元件的加工误差和安装误差总是无法避免的，导致实际测量光学系统和理论计算光学系统存在差异，称为光学系统误差。光学系统误差不但会降低干涉测量系统的精度，而且导致理想被测表面模型对应的仿真结果无法作为测量基准，不得不采用加工精度极高且参数不同的实物基准，进行比较测量。光学系统误差的存在，不单削弱了激光干...
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