技术编号:17731012
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学干涉测量领域,具体涉及一种基于级联自适应光学的大面积大曲率光学自由曲面面形干涉测量装置及测量方法。背景技术由于对特定视场或景深等性能要求,离轴、非对称等自由曲面类元件在现代光学中得到了广泛的应用。采用自由曲面光学元件能够实现更加优异的光学性能并且可以简化光学系统结构。自由曲面的复杂性和多变性导致其加工过程不同于球面和传统非球面,其没有统一的表达式,也没有固定的定义描述,只能由高效的检测技术来保证加工质量。现代计算机技术、光学技术、传感器技术、信号分析与处理技术的发展对表面形貌测量仪...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。