技术编号：17731328
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于惯性测量技术领域，具体涉及一种环形微机电陀螺敏感结构。背景技术陀螺是一种用于敏感载体相对于惯性空间角运动的仪表，是惯性导航和制导系统的核心器件。环形微机电陀螺是一种融合传统机电陀螺工作原理和现代MEMS制造工艺的新型微机电陀螺，相比音叉型、蝶翼型微机电陀螺，环形微机电陀螺在结构上具有对称性优势，可最大限度的抑制干扰、提高鲁棒性。现有技术一种环形微机电陀螺敏感结构如图1所示，中心为一圆环11，通过沿圆周分布的若干折叠梁12与外部结构13相连，圆环11和折叠梁12可通过MEMS工艺制作。圆...
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