技术编号：17736854
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及量子器件制造技术领域，特别是涉及一种基于离子注入的用于制备单原子固态器件和阵列的确定性原子掺杂方法及系统。背景技术第二次量子革命是采用量子力学的新技术的发展，现在已经成为一个重要的研究领域。这些技术包括量子计算、量子加密、量子模拟、量子计量、生物量子传感或地质学、量子计时、量子成像和量子互联网。基于硅量子电子学或光子学的新领域，在器件开发方面取得了重大进展。例如旨在用于未来量子计算机的量子固态器件包括量子点、磁性杂质、单个嵌入杂质离子或固态矩阵中的色心，用于存储和处理量子信息。在使用这...
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