技术编号：17736883
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及离子加速器领域，特别涉及一种应用于离子加速器的电子回旋共振离子源。背景技术随着技术的不断发展，离子源作为引出离子束流的装置，已广泛应用于各种类型的离子加速器、离子注入机、离子推进器等电子设备。其中，电子回旋共振离子源的应用较为成熟。然而，现有技术中，小型电子回旋共振离子源由于其体积较小，所获得的磁场较弱，难以实现强流中低电荷态甚至较高电荷态离子的产生，因此其性能较低。发明内容鉴于上述技术问题，为了克服上述现有技术的不足，本发明提出了一种电子回旋共振离子源。本发明提供一种电子回旋共振离子...
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