技术编号:17746591
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于直拉炉附属设备领域,尤其是涉及一种用于直拉炉出口的水冷设备。背景技术在现有的技术中,用于多晶硅转化成单晶硅生产过程中使用直拉炉,直拉炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。在高温环境下熔融状态的单晶硅的温度较高,需要进行冷却才能进行之后的工序,现有技术中常使用布置于炉体下方的水冷管组进行单晶硅棒料的冷却,但目前使用的以环形水道形式排列的水冷管组冷却效率低,要提高冷却效率需要通过增大水冷管组的体积以增大水冷管组与单晶棒...
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