半导体装置的制造方法与流程技术资料下载

技术编号:17749521

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本说明书所公开的技术涉及半导体装置的制造方法。背景技术作为将导体与半导体元件的电极接合的方法,公知有如下的方法。在半导体元件的电极与导体之间夹着会因热而熔融的接合材料。使因流过电流而发热的发热体与半导体元件、接合材料以及导体的层叠体接触。对发热体进行通电,利用发热了的发热体对接合材料进行加热而使其熔化。停止通电,利用冷却了的接合材料将半导体元件与导体接合。在专利文献1、2中公开了这样的制造方法。专利文献1:日本特开平05-251504号公报专利文献2:日本特开昭59-201084号公报发明内容本...
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