技术编号：17750165
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及无尘洁净环境技术领域，具体地，涉及一种无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法。背景技术制程洁净度区域，即无尘室车间，以FFU(Fan Filter Unit，风机过滤机组)进行制程空间内换气频率调节以达到所需求的洁净度(例如无尘室洁净等级100，即Class100)。在对制程空间内气流进行调节的过程中，依各设备结构Down Flow(向下吹送气流)需求，对FFU进行转速调节。当设备结构较为复杂且主制程区域(即进行制程生产操作的无尘室车间区域)需保持正压时，仅可使用区域性控制的方式调节FF...
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