异质半导体结构及其制造方法与流程技术资料下载

技术编号:17750215

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根据本发明的实施方式的一个或更多个方面涉及集成电路,更具体地,涉及结合光学和电学功能的异质集成电路(heterogeneous integrated circuit)。背景技术在过去的二十年中,研究人员已经开发出了晶体管的光子等效物,甚至已经能够构建全光逻辑电路。这些器件甚至可以制造得比现有的硅晶体管等效物快得多。然而,光子器件的功率要求及其尺寸目前比晶体管等效物高许多个数量级。这种光子器件的功耗会限制它们可实现的集成密度。因此,需要提供光学功能的改善的集成电路结构。发明内容本公开的实施方式的方...
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