技术编号：17752895
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术 随着科学技术的发展，高精度和高分辨率的精密微动平台在尖端工业生产和科学研究领域占有极其重要的地位。它能直接影响精密加工、精密测量及超大规模集成电路生产的水平。作为现代科学与尖端科技的关键技术之一，微动平台技术标志着国家经济实力与科技发展水平，是先进生产制造技术的重要技术支撑。目前，微动平台在微纳CPU的生产、MEMS微纳机电系统的加工制造、细胞注射、AFM原子力学显微镜精度的提高等方面有广泛的应用。现有技术中的微动平台，多为压电陶瓷驱动二维微动平台，其采用压电陶瓷执行器作为驱动器，直...
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