技术编号：17753491
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请属于光学检测领域，涉及一种适用于在拼接干涉仪中检测透镜面形的检测装置和包括该检测装置的拼接干涉仪。背景技术拼接干涉仪通过将一个待测镜面规划为多个小的子孔径，并逐个对子孔径测量面形，然后再将子孔径的面形通过算法组合成整个镜面的面形。已提出了一种自动拼接干涉仪，实现对光学元件的自动拼接测量，但其检测精度低，一般只作为镜片加工中的过程检测仪器。其精度低的最主要原因是在拼接测量过程中，需要倾斜和旋转待测透镜以匹配参考透镜或标准透镜的状态，而倾斜会使得待测透镜的受力状态发生改变，导致待测透镜发生变形...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。