技术编号：17774920
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及器件制造方法。背景技术以往，于制造液晶显示器件、半导体器件(积体电路等)等电子器件(微器件)的光刻工艺，使用通过投影光学系统(透镜)以照明光(能量束)使感光性的玻璃板或晶片(以下，统称为“基板”)曝光，据以将光掩膜(photomask)或标线片(以下，统称为“光掩膜”)所具有的既定图案转印至该基板的曝光装置。作为此种曝光装置，有一种具备使用基板载台装置所具有的长条镜(bar mirror)来求出曝光对象基板于水平面内的...
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