技术编号:17786224
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于传感器技术领域,涉及一种传感器介电层及其制备方法和用途。背景技术不同工作原理的传感器件能将被测物体所发生的变化转化为电信号或其他所需形式的信息输出,满足信息的传输,处理,存储,显示,记录和控制的要求,因此它们在人们的生活中起着非常重要的作用。其中,依靠电容值变化来感知外界力作用的电容式压力传感器由于其结构简单,稳定性好,灵敏度高等优势被广泛关注。近些年,通过对传感器介电层结构改进的手段,使得电容式压力传感器在柔性、灵敏度、稳定性及检测限等性能参数方面都取得了令人瞩目的进步。然而,目前高...
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