技术编号:17809789
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于传感器技术领域,具体涉及一种磁控溅射薄膜压力传感器芯体。背景技术压力传感器是工业压力测试中最为常用的一种传感器,广泛应用于各种工业测压环境,涉及航空、航天、石化、电力、船舶等众多行业。压力传感器是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。按不同的测试压力类型,压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。磁控溅射镀膜技术的原理是稀薄气体在异常辉光放电产生的等离子体在电场作用下对阴极靶材表面...
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