技术编号:17815408
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。实施例涉及一种激光元件。背景技术垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser;VCSEL)是一种在垂直于基板的方向上发射激光的半导体激光器。一般而言,垂直腔面发射激光器可以由下反射层、激光腔、上反射层及电极构成。当上反射层或下反射层具有AlAs/AlGaAsDBR结构时,可能易于散热。然而,这种结构具有在形成氧化物开口的氧化工序中AlAs反射层过度氧化的问题,而且,还具有因在外延生长过程中由于晶体失配引起的AlAs反射层的应变(strain)而...
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