技术编号：17826128
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械传感器。本发明还涉及一种用于制造微机械传感器的方法。背景技术用于测量加速度和转速的微机械惯性传感器针对在汽车和消费领域中的不同应用而批量制造。当前的惯性传感器相对于从外部耦入的机械应力是敏感的，这会以不利的方式降低它的精度。US 7 170 140 A1公开了一种能够实现尽可能的应力解耦的结构。然而所述制造要求昂贵的层传输方法。由US 6 893 928 B2和I.Mizushima、T.Sato、S.Taniguchi、Y.Tsunashima的“Empty-space-i...
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