一种非制冷红外探测器的制作方法技术资料下载

技术编号:17837785

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本实用新型涉及MEMS领域,特别是涉及一种非制冷红外探测器。背景技术随着近年来科技不断的进步以及社会不断的发展,MEMS(微机电系统)得到了极大的发展,相应的作为MEMS中的非制冷红外探测器也得到了极大的发展。而非制冷红外探测器已经广泛的应用于汽车、安防、生物医学、电力、智慧楼宇、森林防火、智能手机和物联网等领域。在现阶段,非制冷红外探测器主要通过其中的热敏薄膜接收红外线照射,经过红外线照射的热敏薄膜的电阻会发生变化从而产生相应的电信号,进而通过与热敏薄膜电连接的锚点将上述电信号传输至读出电路,...
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