技术编号:17850293
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器技术领域,尤其涉及加速度传感器,特别地,涉及一种单片集成三轴加速度传感器及其制作工艺。背景技术随着科学技术的迅速发展,传感器技术倍受重视,尤其在现代工业、汽车电子、航空航天、深海探测等领域得到广泛应用。在现有技术中,用于检测三轴加速度的传感器包括电容式三轴加速度传感器、压电式三轴加速度传感器和压阻式三轴加速度传感器等。为实现空间三个方向加速度同时测量,通过组合封装相应敏感单元进行三轴加速度检测。但是,在现有技术所公开的三轴加速度传感器中,因各方向敏感单元存在一定差异,在空间三个方...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。