技术编号:17858743
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空镀膜辅助设备技术领域,尤其涉及一种真空镀膜用三维转动夹。背景技术真空镀膜是一种新型的材料表面改性技术,是一种利用真空环境下进行的利用物理、化学的方法将高性能的材料沉积在待改性材料表面,并在材料表面形成一层一定厚度的高性能的材料。真空镀膜技术是在一个真空腔室内实现材料表面改性的,其改性过程中,沉积材料是通过沉积吸附、扩散、堆积成膜的。因而对于真空镀膜技术来说,如何在待改性的材料表面获得厚度性能一致的涂层,是工作的重点。为获得均匀的涂层,待改性材料在真空腔室中必须尽量实现三维转动。...
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