一种混联腔体驱动的微型压电气体压缩机的制作方法技术资料下载

技术编号:17867996

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本发明属于微型气体压缩机技术领域,具体涉及一种混联腔体驱动的微型压电气体压缩机。背景技术由于微型压缩机体积小、结构紧凑以及高的控制精度等优势,目前已广泛应用于电子冷却、化学合成、气体输送以及航空航天等领域。中国专利CN105321404A提出了一种电磁式压缩机,主要包括固定壳体、进气管、出气管、气缸、活塞、传动架、衔铁铁芯和电磁线圈,该电磁式压缩机控制容易,电磁力大;中国专利CN207048923U提出一种单驱动式天然气用微型循环压缩机,采用立式结构进行压缩机结构设计,通过电机驱动,占地面积小,...
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