技术编号:17874193
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及检测设备技术领域,具体涉及一种阴极检漏设备。背景技术在磁控溅射镀膜设备中的阴极上,都会集成有工艺气体管路,如氩气、氮气、氧气、氩氧混合气等等工艺气体管路;用于精确分配工艺气体用量的气体质量流量控制器(MFC:Mass Flow Controller)及用于连接或者断开工艺气体管路的接头及气动截止阀。而在生产过程中,由于产品工艺变更,需要更换管路尺寸或者改变气体管路连接方式及硬件(MFC及气动截止阀) 本身出现异常的情况下。当技术人员完成以上的更换气体管路及更换异常的硬件后,都必须对...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。