技术编号：17878613
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于集成电路技术领域，特别涉及一种NMOS器件。背景技术传统的Si基器件，以其低功耗、低噪声、高集成度、可靠性好等优点在集成电路(IC,Integrated Circuit)领域占据着重要的地位。微电子技术的发展一直沿着在两个方向进行，一是不断缩小芯片的特征尺寸，在20世纪80年代末90年代初，芯片特征尺寸缩小到1μm以下，90年代末达到0.18μm，目前45nm集成电路已进入大规模的生产时期，在单个芯片上可集成约几十亿个晶体管。这不仅提高了集成度，同时也使其速度、功耗、可靠性等大大地...
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